CEM3000系列高易用性掃描電鏡高易用性快速成像、一鍵成片,無需過多人工調(diào)節(jié)。具有出色的電子光學系統(tǒng),優(yōu)于4nm的空間分辨率,保證了高放大倍數(shù)下的清晰成像,能夠滿足納米尺度的形貌觀測需求。
CEM3000抗振防磁掃描電鏡可以進入手套箱、車廂還是潛水器等狹小空間內(nèi)大顯身手。即便在一些常規(guī)電鏡難以耐受的工作環(huán)境中,該系列臺式電鏡也能憑借抗振防磁技術(shù),展現(xiàn)出色的性能。也可通過加裝各類探頭和附件,滿足用戶的拓展性需求,這使其在材料科學、生命科學、納米技術(shù)、能源等多個領域得到了廣泛應用。
CEM3000系列臺式掃描電子顯微鏡采用的鎢燈絲電子槍可以在相對較低的真空度下工作,通常只需要兩級真空泵系統(tǒng)獲得 0.001Pa 左右的真空度即可滿足要求,而不需要像場發(fā)射電子槍那樣的超高真空環(huán)境,這不僅降低了真空系統(tǒng)的復雜度和成本,還縮短了抽真空的時間,提高了工作效率。
中圖儀器SEM超清掃描電鏡品牌采用鎢燈絲電子槍,可以在相對較低的真空度下工作,通常只需要兩級真空泵系統(tǒng)獲得 0.001Pa 左右的真空度即可滿足要求,而不需要像場發(fā)射電子槍那樣的超高真空環(huán)境,這不僅降低了真空系統(tǒng)的復雜度和成本,還縮短了抽真空的時間,提高了工作效率。
中圖儀器VT6000系列白光干涉共聚焦顯微鏡光源采用白光LED,以轉(zhuǎn)盤共聚焦光學系統(tǒng)為基礎,結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設計和3D重建算法,共同組成測量系統(tǒng),保證儀器的高測量精度。
NS系列膜厚臺階儀其線性可變差動電容傳感器(LVDC),具有亞埃級分辨率,13μm量程下可達0.01埃。高信噪比和低線性誤差,使得產(chǎn)品能掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器,主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。
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