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CEM3000系列超清掃描顯微鏡用于對(duì)樣品進(jìn)行微觀(guān)尺度形貌觀(guān)測(cè)和分析。其抗振設(shè)計(jì)，在充滿(mǎn)機(jī)械振動(dòng)和噪音的工業(yè)環(huán)境中依舊穩(wěn)如泰山，拍攝出清晰、高分辨率的圖像。

VT6000系列國(guó)產(chǎn)共聚焦3D顯微鏡在材料生產(chǎn)檢測(cè)領(lǐng)域中，一般用于略粗糙度的工件表面的微觀(guān)形貌檢測(cè)，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。它以共聚焦技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像。

SuperViewW白光干涉測(cè)量膜厚儀器3D重建算法自動(dòng)濾除樣品表面噪點(diǎn)，在硬件系統(tǒng)的配合下，測(cè)量精度可達(dá)亞納米級(jí)別。不通倍率的鏡頭，適應(yīng)于從超光滑到粗糙度各種表面類(lèi)型的樣品。

中圖儀器SEM掃描電鏡用于對(duì)樣品進(jìn)行微觀(guān)尺度形貌觀(guān)測(cè)和分析。標(biāo)配有高性能二次電子探頭和多象限背散射探頭、并可選配能譜儀、低真空系統(tǒng)，能滿(mǎn)足用戶(hù)對(duì)多類(lèi)型樣品的觀(guān)測(cè)需求，實(shí)現(xiàn)微觀(guān)的形貌和元素分析等。

CEM3000系列桌面式掃描電子顯微鏡標(biāo)配有高性能二次電子探頭和多象限背散射探頭、并可選配能譜儀、低真空系統(tǒng)，能滿(mǎn)足用戶(hù)對(duì)多類(lèi)型樣品的觀(guān)測(cè)需求，實(shí)現(xiàn)微觀(guān)的形貌和元素分析等。

NS系列臺(tái)階薄膜測(cè)厚儀是一款超精密接觸式微觀(guān)輪廓測(cè)量?jī)x器。采用線(xiàn)性可變差動(dòng)電容傳感器（LVDC），具有亞埃級(jí)分辨率，13μm量程下可達(dá)0.01埃。高信噪比和低線(xiàn)性誤差，使得產(chǎn)品能掃描到幾納米至幾百微米臺(tái)階的形貌特征。

CEM3000國(guó)產(chǎn)桌面掃描電鏡是一款用于對(duì)樣品進(jìn)行微觀(guān)尺度形貌觀(guān)測(cè)和分析的緊湊型設(shè)備。不同于立式電鏡，CEM3000系列臺(tái)式掃描電鏡無(wú)需占據(jù)大量空間來(lái)容納整個(gè)電鏡系統(tǒng)，這使其甚至能夠出現(xiàn)在用戶(hù)日常工作的桌面上，在用戶(hù)手邊實(shí)時(shí)呈現(xiàn)所得結(jié)果。

中圖儀器VT6000轉(zhuǎn)盤(pán)共聚焦光學(xué)成像系統(tǒng)以轉(zhuǎn)盤(pán)共聚焦光學(xué)系統(tǒng)為基礎(chǔ)，結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和3D重建算法，共同組成測(cè)量系統(tǒng)。一般用于略粗糙度的工件表面的微觀(guān)形貌檢測(cè)，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。