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SJ6000高穩(wěn)定性激光干涉儀的測(cè)量原理主要包括相位測(cè)量和位移測(cè)量。相位測(cè)量是通過(guò)測(cè)量干涉條紋的相位差來(lái)計(jì)算被測(cè)量物體的形狀、位置等參數(shù)；位移測(cè)量是通過(guò)測(cè)量干涉條紋的位移來(lái)確定物體的位移量。這兩種測(cè)量原理在不同應(yīng)用場(chǎng)景下有著各自的優(yōu)勢(shì)和適用性。

SJ6000高精度激光干涉儀測(cè)量系統(tǒng)集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體，采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高精度、抗擾力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出。儀器具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨高等優(yōu)點(diǎn)，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線(xiàn)性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。

SJ6000激光切割機(jī)精度激光干涉校準(zhǔn)儀采用進(jìn)口高穩(wěn)頻氦氖激光器、雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)、多參數(shù)環(huán)境補(bǔ)償技術(shù)、高速數(shù)字信號(hào)處理系統(tǒng)等技術(shù)，通過(guò)與不同的光學(xué)鏡組結(jié)合，實(shí)現(xiàn)對(duì)線(xiàn)性、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平面度等幾何量的檢測(cè)。線(xiàn)性測(cè)長(zhǎng)精度0.5ppm，激光穩(wěn)頻精度：0.05ppm。

SJ6000激光干涉機(jī)床校準(zhǔn)儀集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體，采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高精度、抗擾力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出。產(chǎn)品結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線(xiàn)性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。

SJ6000位移加速度激光干涉測(cè)量?jī)x具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，在動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下，可實(shí)現(xiàn)線(xiàn)性位移、角度和直線(xiàn)度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè)，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

SJ6000機(jī)床導(dǎo)軌三坐標(biāo)激光干涉測(cè)量?jī)x集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體，采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高精度、抗擾力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出。

SJ6000納米精度位移激光干涉測(cè)量?jī)x采用高速干涉信號(hào)采集、調(diào)理及細(xì)分技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高4m/s的測(cè)量速度，以及納米級(jí)的分辨率。具有實(shí)時(shí)性測(cè)量能力，能夠同時(shí)測(cè)量多個(gè)位置或參數(shù)，提高測(cè)量效率。

中圖儀器單頻激光干涉儀SJ6000集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線(xiàn)性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。